對於的芯片行業而言，更為先進的光刻機的確是個很大逾越的障礙，而全球的設備也都來自ASML。ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業務情況，其表示一些情況下，出口光刻機是不需要許可證的。
Roger Dassen指出，ASML了解美國當局目前的規章制度及其解釋，當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關，但如果廣泛的來理解其規章制度對ASML的總體含義(對於特定的中國客戶)，則意味着ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。
不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統，ASML則需要為此申請出口許可證。
在這之前ASML還公布了光刻機產品的最新進展，3600D是其目前研發中的最先進光刻機系統，於2021年中旬出貨交付，其30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，並改進機器匹配套准精度至1.1nm。
來源：cnBeta
