ASML已經成為了全球第一大光刻機廠商，而且最頂尖的EUV光刻機更是獨家壟斷。
日前與媒體交流時，ASML技術開發副總裁Tony Yen確認了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機目前有三大客戶，分別是台積電、三星和Intel。
至於同樣製造光刻機的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊，Yen指出，我們從2000年左右開發EUV，並決定大批量生產這種光刻機。
日本人沒有這麼做，因為他們覺得系統太復雜。實際上，我們當時也不是100%確信EUV光刻機會成功。
當然，Yen提到，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer(已被ASML收購)等企業參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。
據官方披露的數據，去年全球光刻機總銷售量為413台，其中ASML銷售258台占比62%，佳能銷售122台占比30%，尼康銷售33台占比8%。從光刻機類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i-line（份額69%）。
作者：萬南
來源：快科技
