提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用於5nm及更先進工藝，使得產能大漲600%。
隨着製程工藝不斷提升，晶圓的製造也越來越復雜，這也會導致晶圓中的錯誤更多，HMI eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的檢測系統，內部也有復雜的光電子系統，能夠產生、控制多個電子束，然後根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量，並有高速運行的平台以控制測試的晶圓數量，還要有計算系統處理電子束的數據。
簡單來說，ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一台驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統，工藝越先進，檢測系統就越重要，它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。
ASML的HMI eScan1000的突破之處在於能夠同時產生、控制九道電子束，所以產能提升了600%，可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。
目前HMI eScan1000可以用於5nm及以下先進工藝的晶圓測試，已經交付給客戶進行測試驗證，未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。
作者：憲瑞
來源：快科技
