按照台積電（TSMC）的安排，將在2nm製程節點將首度使用Gate-all-around FETs（GAAFET）電晶體，同時製造過程仍依賴於極紫外（EUV）光刻技術，計劃2025年進入大批量生產階段，客戶在2026年就能收到首批採用N2工藝製造的晶片。
據Trendforce報導，有報告顯示，台積電正在積極安裝對於先進工藝至關重要的EUV光刻機，以應付2nm工藝的量產，今年和明年將接收超過60台EUV光刻機，投入的資金額超過4000億新台幣（約合123億美元/人民幣894億元）。
隨著ASML不斷擴大產能，預計2025年EUV光刻機的交付量將增長30%以上，台積電也會因此受益。去年ASML為了響應客戶的需求計劃增產，明年的EUV光刻機交付量會有明顯增長，預計今年為53台，明年增至72台以上。據了解，ASML在2025年的目標產能為90台EUV光刻機、600台DUV光刻機、以及20台High-NA EUV光刻機。
EUV光刻機的供應一直很緊張，交貨時間在16至20個月之間，2024年的訂單大部分要到2025年才能交付。傳聞台積電2024年訂購了30台EUV光刻機，2025年為35台。不過由於台積電可能會對資本支出計劃進行調整，這些數字最終會略有變化。此外，台積電有望在今年某個時候接受到最新的High-NA EUV光刻機。
來源：超能網
